JPH0240631B2 - - Google Patents

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JPH0240631B2
JPH0240631B2 JP57207694A JP20769482A JPH0240631B2 JP H0240631 B2 JPH0240631 B2 JP H0240631B2 JP 57207694 A JP57207694 A JP 57207694A JP 20769482 A JP20769482 A JP 20769482A JP H0240631 B2 JPH0240631 B2 JP H0240631B2
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JP
Japan
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metal
layer
silicon nitride
ceramics
joining
Prior art date
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Application number
JP57207694A
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English (en)
Japanese (ja)
Other versions
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Inventor
Susumu Komine
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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